應(yīng)用案例 | 看見“不可見”——MV-SUC800GU紫外工業(yè)相機(jī)在晶圓缺陷檢測(cè)中的應(yīng)用
2025-08-27
晶圓在生產(chǎn)制備、光刻、蝕刻等復(fù)雜工藝過程中，極易受到各種因素影響而產(chǎn)生缺陷。環(huán)境中的微小顆粒污染、工藝設(shè)備的細(xì)微偏差，或是材料本身的不均勻性等，在芯片制造與后續(xù)使用中，也可能引發(fā)信號(hào)傳輸異常、電路短路或斷路等嚴(yán)重問題，導(dǎo)致芯片失效。
接觸式檢測(cè)易對(duì)晶圓造成損傷，傳統(tǒng)可見光檢測(cè)（波長(zhǎng)范圍約 400nm~700nm）又受限于波長(zhǎng)特性，逐漸也難以滿足“零缺陷”檢測(cè)需求。
在此背景下，紫外光（作為半導(dǎo)體光刻與缺陷檢測(cè)的核心波段）憑借更短的波長(zhǎng)優(yōu)勢(shì)，其能分辨的細(xì)節(jié)尺寸遠(yuǎn)小于可見光，可高效捕捉晶圓表面的微小顆粒、劃痕等隱性或超小缺陷，成為晶圓表面缺陷檢測(cè)的理想選擇。
邁德威視自主研發(fā)的MV-SUC800GU，支持紫外光（UV）波長(zhǎng)拍攝，低CPU占用，高速傳輸：
晶圓表面的透明薄膜層（如二氧化硅、氮化硅等材料），可見光會(huì)直接穿透，相對(duì)“透明”，導(dǎo)致其缺陷難以顯現(xiàn)，而該相機(jī)支持紫外波段成像，這些材料因特性在紫外光下被“看見”，呈現(xiàn)可見光相機(jī)無法察覺的缺陷。加上800萬像素（2840×2840分辨率），提供高分辨率成像，解決傳統(tǒng)可見光成像看不見的問題。
在現(xiàn)代生產(chǎn)線節(jié)拍中，全局快門為“邊移動(dòng)邊檢測(cè)”提供了基礎(chǔ)，不會(huì)因晶圓移動(dòng)導(dǎo)致 “邊緣畸變”；幀率高達(dá)44.75fps，避免“圖像跳幀”“漏拍區(qū)域”等問題，提升產(chǎn)能。
采用DMA傳輸，5Gbps 的數(shù)據(jù)傳輸部分，幾乎不占用CPU資源。將原始數(shù)據(jù)快速傳輸至處理單元，避免因數(shù)據(jù)擁堵造成的缺檢漏檢；同時(shí)一臺(tái)電腦多個(gè)相機(jī)可穩(wěn)定工作，長(zhǎng)時(shí)間下不掉線、不丟幀，可滿足“7×24”小時(shí)連續(xù)生產(chǎn)的需求。
相機(jī)自帶的可編程IO和外觸發(fā)閃光燈同步拍照功能，適配自動(dòng)化檢測(cè)場(chǎng)景，提升缺陷檢測(cè)一致性；兼容Vision協(xié)議，無縫兼容Halcon，VisionPro、Labview等視覺軟件，縮短項(xiàng)目開發(fā)周期。
MV-SUC800GU工業(yè)相機(jī)采用UV CMOS傳感器，兼具高分辨率與幀率、全局快門、低延遲傳輸、強(qiáng)兼容性等特性，精準(zhǔn)匹配晶圓檢測(cè)對(duì)“微小缺陷識(shí)別、高速高效檢測(cè)、系統(tǒng)穩(wěn)定可靠”的核心需求。
在紫外光源照射下，晶圓表面的微觀缺陷會(huì)因?qū)ψ贤?span id="jzvhbvptn" class="">光的反射、吸收程度不同，形成可見的明暗對(duì)比差異。
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MV-SUC800GU |
| 傳感器 |
2/3″ UV CMOS |
| 相機(jī)類型 |
黑白 |
| 像元尺寸 |
2.74umx2.74um |
| 有效像素 |
800萬 |
| 分辨率@幀率 |
2840×2840 最大 @44.75fps |
| 曝光方式 |
幀曝光 |
| 數(shù)據(jù)接口 |
USB3.0 |
| 輸出像素寬度 |
8bit |
光譜圖.png)
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光伏
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 科研
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材料表面檢測(cè)
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半導(dǎo)體 |
? ? ? ? 邁德威視科技有限公司是一家專業(yè)國(guó)產(chǎn)工業(yè)相機(jī)制造商。
? ? ? ? 邁德威視公司創(chuàng)立于深圳，總部位于長(zhǎng)沙，并成立湖南邁德威視科技有限公司，在無錫成立了邁德威視(江蘇)科技有限公司，并設(shè)立武漢辦事處；我們擁有雄厚的技術(shù)開發(fā)實(shí)力，是國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)，產(chǎn)品通過了CE、ROHS等權(quán)威認(rèn)證；企業(yè)通過了IS09001質(zhì)量管理體系認(rèn)證，也是國(guó)內(nèi)為數(shù)不多的能同時(shí)提供USB2.0/3.0、GigE、萬兆網(wǎng)VGA/HDMI接口的常規(guī)工業(yè)相機(jī)和X86、ARM平臺(tái)的智能相機(jī)的工業(yè)相機(jī)廠家，軟件完善度也領(lǐng)先于國(guó)內(nèi)其他廠家，SDK可支持Windows和Linux，ARM linux和蘋果MAC OS系統(tǒng)。同時(shí)我們還承接各種高中低端的相機(jī)定制開發(fā)服務(wù)。邁德威視定制的工業(yè)相機(jī)和模組已經(jīng)廣泛用于科研、智能交通、航模、生物、醫(yī)療、非標(biāo)自動(dòng)化公安等領(lǐng)域。
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